NFTS-VI
2源新対向ターゲット式スパッタ
RF/DC pulse電源
ロードロックチャンバー付き
エフ・ティ・エスコーポレーション社製
NFTS-V
7源新対向ターゲット式スパッタ
ロードロックチャンバー付き
エフ・ティ・エスコーポレーション社製
NFTS-IV
7源新対向ターゲット式スパッタ
ロードロックチャンバー付き
エフ・ティ・エスコーポレーション社製
NFTS-II
8源新対向ターゲット式スパッタ
700度までの高温成膜対応
エフ・ティ・エスコーポレーション社製
超高真空スパッタ装置
2極マグネトロンスパッタリング
高周波反応性スパッタリング
分子線エピタキシー
成膜室到達圧力：1×10^-6Pa以下
北野精機社製
赤外線ランプ加熱装置
高速加熱・冷却
アニール温度：RT~900℃
アルバック社製
面内・極磁区観察装置
面内/垂直磁区観察顕微鏡
静止画/動画磁区観察
ネオアーク社製
低温磁気抵抗測定装置1
Cryogenics社製
RT-1.5K,3T超電導磁石
低温磁気抵抗測定装置2
最大印加磁場：2500 Oe
Temperature : 10 K ~ RT
極低温装置
抵抗温度センサー
測定温度：4.2 K~ RT
レイクショア社製